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삼성전자(005930) 파운드리 사업부가 차세대 기술인 하이-NA 극자외선(EUV) 노광에 필요한 핵심 소재 상용화를 위해 속도를 내고 있다. 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 이하 파운드리 공정에서 TSMC를 쫓아갈 수 있는 원동력을 확보한 것으로 해석된다.
14일 서울경제신문이 단독 입수한 삼성 파운드리의 ‘바쿠스(BACUS) 2024’ 학회 발표 자료에 따르면 회사는 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 상용화를 위한 특성 확보에 성공했다. 삼성전자(005930) 파운드리 사업부가 차세대 기술인 하이-NA 극자외선(EUV) 노광에 필요한 핵심 소재 상용화를 위해 속도를 내고 있다. 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 이하 파운드리 공정에서 TSMC를 쫓아갈 수 있는 원동력을 확보한 것으로 해석된다.
- [단독] 삼성전자 'CNT 펠리클'로 파운드리 반격…2나노 공정서 주도권 확보 나서 | 서울경제
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