¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ °¼¼´Ù. ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ÁßÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ縮ŬÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ ¹Ì±¹ Åػ罺 °øÀå¿¡¼ ù ¼±À» º¸ÀÏ °ÍÀ̶ó´Â ±â´ë°¨ÀÌ ÀÛ¿ëÇÑ °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.
26ÀÏ ¿ÀÀü 11½Ã39ºÐ ±âÁØ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÀüÀÏ ´ëºñ 4.21% »ó½ÂÇÑ 3¸¸2200¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¿Ã ÇϹݱ⠽þç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Â EUV Æ縮ŬÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Áþ°í ÀÖ´Â ¹Ì±¹ °øÀå¿¡¼ ù ¼±À» º¸ÀÏ °ÍÀ̶ó´Â ±â´ë°¨ÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù. ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¿ÃÃÊ EUVÆ縮Ŭ Àü¿ë °øÀåÀ» Âø°øÇß´Ù. ÅõÀÚ±Ô¸ð´Â ¾à 190¾ï¿ø ¼öÁØÀ¸·Î ÇϹݱâ Áß ¿Ï°øÇÏ°í ¿¬³» °í°´»ç¿¡ ½Ã¾ç»êÇ°À» °ø±ÞÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
CTT¸®¼Ä¡´Â ¡°2025 ³â¿¡´Â º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»êÀ» ÅëÇØ ±¹»êÈ°¡ ½ÃÀÛµÉ Àü¸ÁÀε¥, ¾ç»ê Á¦Ç°Àº Åõ°úÀ² 95% ÀÌ»ó, 600W ±Þ Hi-NA EUV ¿¡¼µµ Àû¿ë°¡´ÉÇÑ ½ºÆåÀÌ µÉ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°ÇöÀç EUV Æ縮ŬÀÇ °¡°ÝÀº 2000~3000 ¸¸¿ø ¼öÁØÀ¸·Î ArF Æ縮Ŭ ´ëºñ 50¹è¸¦ ³Ñ¾î¼°í ÀÖ´Â »óȲ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
±×·¯¸é¼ ¡°µ¿»ç°¡ ¿¬°£ »ý»ê ÁßÀε¥ Æ縮ŬÀÇ 5%ÀÎ 1.5 ¸¸ÀåÀÇ EUV Æ縮Ŭ ½Å±Ô ¼ö¿ä¿Í °ø±Þ°¡¸¦ Àå´ç 1000 ¸¸¿øÀ¸·Î °¡Á¤ÇÏ¸é ¿¬°£ 1500¾ïÀÇ ½Å±Ô ¸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÒ Á¤µµ·Î EUV Æ縮Ŭ ¾ç»êÀº µ¿»çÀÇ ½ÇÀûÀ» Å« ÆøÀ¸·Î Áõ°¡½ÃÅ°°Ô µÉ °Í¡°À̶ó¸ç ¡±¹ÝµµÃ¼ ¾÷Ȳ °³¼± È¿°ú¿Í 11¿ù ½Å±Ô °øÀå °¡µ¿µµ ±àÁ¤Àû¡°À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÀåÈ¿¿ø ±âÀÚ specialjhw@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |