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글로벌 탄소나노튜브(CNT) 선도업체 제이오가 강세다.
반도체 산업의 혁신을 이끌기 위한 차세대 극자외선(EUV) 펠리클용 CNT 멤브레인 기술 개발을 본격적으로 추진한다는 소식이 주가에 영향을 주는 것으로 보인다.
7일 오후 1시36분 제이오는 전 거래일 대비 9.15% 오른 1만9450원에 거래되고 있다.
제이오는 지난 4일 나노융합산업연구조합이 총괄하는 EUV 펠리클용 ‘탄소나노튜브 멤브레인 제조기술 개발’ 과제에 세부 주관기관으로서 협약을 완료했다.
해당 과제에는 제이오 외에도 펠리클 전문기업인 에프에스티와 더불어 한양대학교, 포스텍, 인하대 등이 참여해 CNT 멤브레인을 이용한 차세대 EUV 펠리클 개발 및 사업화에 협력한다.
제이오는 업무 협약을 통해 2027년까지 반도체 분야 EUV 펠리클용 CNT를 개발하며 산학협력 연구 과제를 수행할 예정이다.
연구 과제는 ▲차세대 펠리클 소재 ▲건식 공정을 통한 CNT 멤브레인 공정 ▲CNT 멤브레인 플레어 분석 평가 등을 위한 세부 기술 확보로 구성된다.
펠리클은 EUV공정에서 회로를 새겨 넣는 판인 포토마스크를 이물질로부터 보호하는 역할을 한다.
EUV 공정은 광투과를 통해 노광을 진행하는데, 이 과정에서 공정 손실과 더불어 광이 웨이퍼에 닿는 과정에서 발생하는 파티클(이물질)에 의한 마스크 손상을 최소화해 제품의 수율을 높일 수 있다.
펠리클은 EUV공정의 핵심 부품으로 개당 가격이 수천만원에서 비싸게는 1억원에 육박하는 고부가가치 제품으로 평가받는다.
제이오는 20년 동안 CNT 개발을 통해 세계 최고 수준의 CNT 개발 기술력을 갖춘 기업이다.
반도체용 EUV 펠리클 연구과제를 통해 이차전지용 도전재 CNT에서 반도체까지 사업 영역을 넓힐 계획이다.
제이오는 차세대 반도체 혁신 소재기업으로 시장 내 지위를 더욱 공고히 할 것으로 기대하고 있다.
박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr
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