µ¿Åº2½Åµµ½Ã¿¡ ¿¬±¸°³¹ß(R&D)¼¾Å͸¦ Áþ´Â´Ù
ASMLÀº ÀÌ ºÎÁö¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í °øµ¿À¸·Î ¾à 1Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇØ
EUV È°¿ë Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ ¿¬±¸°³¹ß Áö¿øÀ» À§ÇÑ ½Ã¼³À» °Ç¸³ÇÒ °èȹ